Структура мезопористого кремния

Abstract

Сканирующая электронная микроскопия и спектроскопия комбинационного рассеяния света использованы для изучения структуры мезопористого кремния, изготовленного методом анодирования. Установлено, что на поверхности мезопористого кремния, сформированного при плотностях тока 20-40 мА/см2, ширина элементов кремниевого скелета составляет 2,0-3,5 нм и не зависит от толщины пористого слоя, а для плотностей тока 50-90 мА/см2 увеличивается до 6-12 нм и растет с повышением толщины слоев. В объеме мезопористого кремния ширина элементов скелета не зависит от толщины пористого слоя, но увеличивается с ростом плотности тока. Увеличение толщины мезопористого кремния приводит к увеличению ширины и смещению пиков комбинационного рассеяния света в область меньших значений волновых чисел.