https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64244| Title: | Структура мезопористого кремния |
| Authors: | Лопато, У. П. Белый, Г. В. |
| Keywords: | материалы конференций;структуры кремния;мезопористые материалы;кристаллы кремния;анодирование;микроскопия |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лопато, У. П. Структура мезопористого кремния / У. П. Лопато, Г. В. Белый // Радиотехника и электроника : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 15–16 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2026. – С. 187–188. |
| Abstract: | Сканирующая электронная микроскопия и спектроскопия комбинационного рассеяния света использованы для изучения структуры мезопористого кремния, изготовленного методом анодирования. Установлено, что на поверхности мезопористого кремния, сформированного при плотностях тока 20-40 мА/см2, ширина элементов кремниевого скелета составляет 2,0-3,5 нм и не зависит от толщины пористого слоя, а для плотностей тока 50-90 мА/см2 увеличивается до 6-12 нм и растет с повышением толщины слоев. В объеме мезопористого кремния ширина элементов скелета не зависит от толщины пористого слоя, но увеличивается с ростом плотности тока. Увеличение толщины мезопористого кремния приводит к увеличению ширины и смещению пиков комбинационного рассеяния света в область меньших значений волновых чисел. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64244 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lopato_Struktura.pdf | 676.83 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.