| Title: | Обзор технологии Bosch Process как плазмохимического метода травления |
| Other Titles: | Review of the Bosch Process technology as a plasmachemical etching method |
| Authors: | Барковская, К. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;плазма;травление;плазмохимическое травление;плазменные технологии |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Барковская, К. Н. Обзор технологии Bosch Process как плазмохимического метода травления = Review of the Bosch Process technology as a plasmachemical etching method / К. Н. Барковская // Электронные системы и технологии : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 13–17 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: П. В. Камлач [и др.]. – Минск, 2026. – С. 262–265. |
| Abstract: | Рассмотрена технология выполнения плазмохимического травления Bosch
Process. В данной статье представлен принцип данного метода, а также особенности
проведения обработки материала при выполнении данного способа травления. |
| Alternative abstract: | The technology of performing plasma-chemical etching using the Bosch Process has
been reviewed. This article presents the principle of this method, as well as the features of material
processing when carrying out this etching method. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64706 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 62-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026)
|
