| Title: | Нанесение двухслойного просветляющего покрытия Al₂O₃/MgF₂ методом электронно-лучевого испарения с ионным ассистированием |
| Other Titles: | Deposition of Al₂O₃/MgF₂ bilayer antireflection coating by ion-assisted electron-beam evaporation |
| Authors: | Макарцов, И. О. |
| Keywords: | материалы конференций;ионные ассистирования;электронно-лучевые испарения;тонкие пленки;двухслойные покрытия;оптические покрытия;коэффициенты отражения;оксид алюминия;фторид магния |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Макарцов, И. О. Нанесение двухслойного просветляющего покрытия Al₂O₃/MgF₂ методом электронно-лучевого испарения с ионным ассистированием = Deposition of Al₂O₃/MgF₂ bilayer antireflection coating by ion-assisted electron-beam evaporation / И. О. Макарцов // Электронные системы и технологии : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 13–17 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: П. В. Камлач [и др.]. – Минск, 2026. – С. 389–392. |
| Abstract: | В данной работе исследуется влияние ионного ассистирования (ИА) на оптические характеристики двухслойного покрытия Al2O3/MgF2, полученного методом электронно-лучевого испарения. На основе анализа полученных спектральных зависимостей показано, что ионное воздействие приводит к выравниванию коэффициента отражения. Это позволяет стабилизировать показатель преломления материала и минимизировать пористость покрытия. Результаты подтверждают эффективность частичного использования ИА для создания прецизионных оптических систем с высокой спектральной стабильностью. |
| Alternative abstract: | This paper examines the effect of ion-assisted coating (IA) on the optical properties of a bilayer Al2O3/MgF2 coating produced by electron beam evaporation. Analysis of the resulting spectral dependences demonstrates that ion-assisted coating leads to a leveling of the reflectivity. This stabilizes the refractive index of the material and minimizes coating porosity. The results confirm the effectiveness of using partial IA for creating precision optical systems with high spectral stability. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64743 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 62-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026)
|
