| Title: | Формирование фторуглеродных покрытий, легированных азотом |
| Other Titles: | Formation of nitrogen-alloyed fluorocarbon coatings |
| Authors: | Потылкин, А. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;фторуглеродные покрытия;ионно-лучевые распыления;давление азота;оптические характеристики;трибологические характеристики |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Потылкин, А. Н. Формирование фторуглеродных покрытий, легированных азотом = Formation of nitrogen-alloyed fluorocarbon coatings / А. Н. Потылкин // Электронные системы и технологии : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 13–17 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: П. В. Камлач [и др.]. – Минск, 2026. – С. 393–396. |
| Abstract: | Исследовано влияние парциального давления азота на скорость нанесения и характеристики фторуглеродных покрытий. Установлено, что увеличение доли азота способствовало снижению скорости нанесения, оптического пропускания в видимом диапазоне и коэффициента трения фторуглеродных покрытий, что можно связать с заменой химических связей С–F на С–N. |
| Alternative abstract: | The effect of nitrogen partial pressure on the deposition rate and performance of fluorocarbon coatings was studied. It was found that increasing the nitrogen fraction resulted in a decrease in the deposition rate, visible optical transmittance, and friction coefficient of the fluorocarbon coatings, which can be attributed to the replacement of C–F chemical bonds with C–N. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64744 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 62-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026)
|
