| Title: | Влияние состава рабочего газа на характеристики фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков |
| Other Titles: | Influence of working gas composition on the characteristics of fluorocarbon coatings obtained by direct ion beam deposition |
| Authors: | Курбако, Е. Г. |
| Keywords: | материалы конференций;фторуглеродные покрытия;прямые осаждения;давление фреона;оптические характеристики;электрофизические характеристик;микроструктуры |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Курбако, Е. Г. Влияние состава рабочего газа на характеристики фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков = Influence of working gas composition on the characteristics of fluorocarbon coatings obtained by direct ion beam deposition / Е. Г. Курбако // Электронные системы и технологии : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 13–17 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: П. В. Камлач [и др.]. – Минск, 2026. – С. 402–404. |
| Abstract: | Исследовано влияние состава рабочего газа на характеристики фторуглеродных покрытий. Установлено, что увеличение доли фреона способствовало росту оптического пропускания фторуглеродных покрытий, что можно связать с заменой химических связей С–С на С–F. |
| Alternative abstract: | The influence of working gas composition on the characteristics of fluorocarbon coatings was studied. It was found that increasing the freon content contributed to an increase in the optical transmittance of fluorocarbon coatings, which can be attributed to the replacement of C–C chemical bonds with C–F. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64746 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 62-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026)
|
