| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лушакова, М. С. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.contributor.author | Барковская, К. Н. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2026-11-03T12:46:26Z | - |
| dc.date.available | 2026-11-03T12:46:26Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.citation | Патент BY 13871, МПК H 01L 21/3065 (2006.01). Устройство комбинированного разряда для плазмохимического травления низкотемпературной плазмой пониженного давления : № u 20250137 : заявлено 27.06.2025 : опубликовано 20.12.2025 / Лушакова М. С., Мадвейко С. И., Тихон О. И., Барковская К. Н. ; заявитель Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". – 5 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/66054 | - |
| dc.description.abstract | Полезная модель относится к оборудованию плазменного травления полупроводниковых, диэлектрических и проводящих пленочных материалов, в частности к устройствам формирования комбинированного СВЧ и низкочастотного плазменного разрядов, и может быть использована при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем, фотошаблонов и других пленочных структур. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | Национальный центр интеллектуальной собственности | en_US |
| dc.subject | патенты | en_US |
| dc.subject | плазменное травление | en_US |
| dc.subject | СВЧ-генераторы | en_US |
| dc.title | Устройство комбинированного разряда для плазмохимического травления низкотемпературной плазмой пониженного давления | en_US |
| dc.title.alternative | Патент BY 13871, МПК H 01L 21/3065 (2006.01) | en_US |
| dc.type | Other | en_US |
| Appears in Collections: | Полезные модели
|
