https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/66054| Title: | Устройство комбинированного разряда для плазмохимического травления низкотемпературной плазмой пониженного давления |
| Other Titles: | Патент BY 13871, МПК H 01L 21/3065 (2006.01) |
| Authors: | Лушакова, М. С. Мадвейко, С. И. Тихон, О. И. Барковская, К. Н. |
| Keywords: | патенты;плазменное травление;СВЧ-генераторы |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Патент BY 13871, МПК H 01L 21/3065 (2006.01). Устройство комбинированного разряда для плазмохимического травления низкотемпературной плазмой пониженного давления : № u 20250137 : заявлено 27.06.2025 : опубликовано 20.12.2025 / Лушакова М. С., Мадвейко С. И., Тихон О. И., Барковская К. Н. ; заявитель Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". – 5 с. |
| Abstract: | Полезная модель относится к оборудованию плазменного травления полупроводниковых, диэлектрических и проводящих пленочных материалов, в частности к устройствам формирования комбинированного СВЧ и низкочастотного плазменного разрядов, и может быть использована при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем, фотошаблонов и других пленочных структур. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/66054 |
| Appears in Collections: | Полезные модели |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_13871.pdf | 488.53 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.