| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Корсак, К. В. | - |
| dc.contributor.author | Новиков, П. Э. | - |
| dc.contributor.author | Шляев, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Баранова, М. С. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2026-11-04T07:00:34Z | - |
| dc.date.available | 2026-11-04T07:00:34Z | - |
| dc.date.issued | 2026 | - |
| dc.identifier.citation | Конечно-элементный анализ деформации упругого подвеса датчика угла наклона с эллиптическим поперечным сечением = Finite element analysis of the deflection of a mems tilt sensor elastic suspension with an elliptical cross-section / К. В. Корсак , П. Э. Новиков, В. А. Шляев, М. С. Баранова // Компьютерное проектирование в электронике = Electronic Design Automation : сборник научных трудов Международной научно-практической конференции, Минск, 23 октября 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Р. Стемпицкий [и др.]. – Минск, 2026. – С. 149–150. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/66066 | - |
| dc.description.abstract | выполнен конечно-элементный анализ деформации упругого подвеса датчика угла наклона
в среде ANSYS. Построена геометрическая модель «опора – балка» из монокристаллического кремния.
Проведено сравнение максимальной деформации подвеса квадратного сечения 20 × 20 мкм и
эллиптического сечения площадью 100 мкм2 при воздействии распределенной нагрузки,
эквивалентной проекции ускорения свободного падения. Показано, что эллиптическое сечение
обеспечивает увеличение деформации в 3,2 раза (с 31,4 до 101,8 мкм) без изменения длины подвеса. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | подвесы | en_US |
| dc.subject | эллиптические сечения | en_US |
| dc.subject | датчики углов наклона | en_US |
| dc.title | Конечно-элементный анализ деформации упругого подвеса датчика угла наклона с эллиптическим поперечным сечением | en_US |
| dc.title.alternative | Finite element analysis of the deflection of a mems tilt sensor elastic suspension with an elliptical cross-section | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| local.description.annotation | a finite element analysis of the deflection of a MEMS tilt sensor elastic suspension was performed in
ANSYS. A geometric model "support – beam" made of single-crystal silicon was constructed. Comparison of
the maximum deflection of a suspension with a 20 × 20 μm square cross-section and an elliptical cross-section
of 100 μm² area under a distributed load equivalent to the gravitational acceleration projection showed a 3.2
fold increase in deflection (from 31.4 to 101.8 μm) without changing the suspension length. | en_US |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование в электронике (2026)
|
