https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/66066| Title: | Конечно-элементный анализ деформации упругого подвеса датчика угла наклона с эллиптическим поперечным сечением |
| Other Titles: | Finite element analysis of the deflection of a mems tilt sensor elastic suspension with an elliptical cross-section |
| Authors: | Корсак, К. В. Новиков, П. Э. Шляев, В. А. Баранова, М. С. |
| Keywords: | материалы конференций;подвесы;эллиптические сечения;датчики углов наклона |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Конечно-элементный анализ деформации упругого подвеса датчика угла наклона с эллиптическим поперечным сечением = Finite element analysis of the deflection of a mems tilt sensor elastic suspension with an elliptical cross-section / К. В. Корсак , П. Э. Новиков, В. А. Шляев, М. С. Баранова // Компьютерное проектирование в электронике = Electronic Design Automation : сборник научных трудов Международной научно-практической конференции, Минск, 23 октября 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Р. Стемпицкий [и др.]. – Минск, 2026. – С. 149–150. |
| Abstract: | выполнен конечно-элементный анализ деформации упругого подвеса датчика угла наклона в среде ANSYS. Построена геометрическая модель «опора – балка» из монокристаллического кремния. Проведено сравнение максимальной деформации подвеса квадратного сечения 20 × 20 мкм и эллиптического сечения площадью 100 мкм2 при воздействии распределенной нагрузки, эквивалентной проекции ускорения свободного падения. Показано, что эллиптическое сечение обеспечивает увеличение деформации в 3,2 раза (с 31,4 до 101,8 мкм) без изменения длины подвеса. |
| Alternative abstract: | a finite element analysis of the deflection of a MEMS tilt sensor elastic suspension was performed in ANSYS. A geometric model "support – beam" made of single-crystal silicon was constructed. Comparison of the maximum deflection of a suspension with a 20 × 20 μm square cross-section and an elliptical cross-section of 100 μm² area under a distributed load equivalent to the gravitational acceleration projection showed a 3.2 fold increase in deflection (from 31.4 to 101.8 μm) without changing the suspension length. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/66066 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование в электронике (2026) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Korsak_Konechno-Elementnyj.pdf | 158.69 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.