Разработать научные основы технологии формирования сенсора влажности на основе наноструктурированных оксидов вентильных металлов: отчет о НИР (заключ.)

Abstract

Проведен анализ конструктивно-технологических методов и оптимизированы режимы формирования высокоупорядоченных наноструктурированных слоев в процессе двухстадийного анодирования алюминия; исследовано влияние электрохимических условий анодирования на структурно-геометрические параметры нанопористых матриц оксида алюминия; отработаны процессы и разработаны методика утонения и удаления барьерного слоя и методика модификации пор наноструктурированного анодного Al2O3, которые основывались на комбинированном сочетании метода плавного медленного понижения напряжения на заключительной фазе двухстадийного электрохимического анодирования, метода электрохимической катодной поляризации и метода химического травления Al2O3; созданы свободные мембранные структуры со сквозными каналами нанопор; разработаны варианты тестовой конструкции и топологии чувствительных элементов сенсоров влажности на основе нанопористых мембран из анодного оксида алюминия.