Исследование процессов формирования многокомпонентных тонкопленочных слоев методами реактивного магнетронного распыления мозаичных мишеней: отчет о НИР (заключ.)

Голосов, Д. А.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Голосов, Д. А.	-
dc.date.accessioned	2016-06-30T07:33:59Z
dc.date.accessioned	2017-07-19T12:59:35Z	-
dc.date.available	2016-06-30T07:33:59Z
dc.date.available	2017-07-19T12:59:35Z	-
dc.date.issued	2013	-
dc.identifier.citation	Исследование процессов формирования многокомпонентных тонкопленочных слоев методами реактивного магнетронного распыления мозаичных мишеней(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель Д. А. Голосов . – Минск, 2013. – 63 с. - № ГР 20121426	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20121426	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7871	-
dc.description.abstract	Представлен теоретический анализ процессов при распылении сплавных и составных мозаичных мишеней ионами инертных и реактивных газов. Аналитически определены факторы, оказывающее решающее влияние на скорость распыления компонентов сплавных и составных мишеней и стехиометрический состав наносимых слоев. Теоретически определены эффекты предпочтительного распыления компонентов.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	ГБЦ № 12-3130;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	многокомпонентные тонкие пленки	ru_RU
dc.subject	сложные оксиды	ru_RU
dc.subject	реактивное манетронное распыление	ru_RU
dc.subject	составные мозаичные мишени	ru_RU
dc.subject	элементный состав	ru_RU
dc.title	Исследование процессов формирования многокомпонентных тонкопленочных слоев методами реактивного магнетронного распыления мозаичных мишеней: отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Technical Report	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2013