Исследование процессов формирования многокомпонентных тонкопленочных слоев методами реактивного магнетронного распыления мозаичных мишеней: отчет о НИР (заключ.)

Голосов, Д. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7871

Title:	Исследование процессов формирования многокомпонентных тонкопленочных слоев методами реактивного магнетронного распыления мозаичных мишеней: отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Голосов, Д. А.
Keywords:	отчеты о НИР;многокомпонентные тонкие пленки;сложные оксиды;реактивное манетронное распыление;составные мозаичные мишени;элементный состав
Issue Date:	2013
Publisher:	БГУИР
Citation:	Исследование процессов формирования многокомпонентных тонкопленочных слоев методами реактивного магнетронного распыления мозаичных мишеней(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель Д. А. Голосов . – Минск, 2013. – 63 с. - № ГР 20121426
Series/Report no.:	ГБЦ № 12-3130;
Abstract:	Представлен теоретический анализ процессов при распылении сплавных и составных мозаичных мишеней ионами инертных и реактивных газов. Аналитически определены факторы, оказывающее решающее влияние на скорость распыления компонентов сплавных и составных мишеней и стехиометрический состав наносимых слоев. Теоретически определены эффекты предпочтительного распыления компонентов.
Gov't Doc #:	№ ГР 20121426
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7871
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2013

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20121426 (12-3130)_Рук_НИР_Голосов.pdf Restricted Access		5.53 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show full item record Google Scholar