https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7945| Title: | Разработка LIGA-подобной технологии формирования вертикальных металлических контактов к массивам углеродных нанотрубок : отчет о НИР (заключ.) |
| Authors: | Тимошков, Ю. В. Курмашев, В. И. Сакова, А. А. Тимошков, В. Ю. |
| Keywords: | отчеты о НИР;LIGA-подобная технология;электрохимическое осаждение;нанокомпозиционные материалы;гальваномагнитные исследования;фоторезист SU-8 |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Разработка LIGA-подобной технологии формирования вертикальных металлических контактов к массивам углеродных нанотрубок : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Ю. В. Тимошков ; отв. исполнитель В. И. Курмашев . – Минск , 2015. – 28 с. - № ГР 20143501 |
| Series/Report no.: | ГБЦ №14-3056; |
| Abstract: | Описаны особенности конструкции и технологии формирования массива вертикальных металлических контактов методом селективного электрохимического нанокомпозиционного соосаждения металлов в полимерные микроформы большой толщины с вертикальными стенками. Исследованы особенности интегрирования процесса формирования вертикальных контактов в технологию селективного выращивания углеродных нанотрубок. Получены экспериментальные образцы матрицы вертикальных контактов. Проведена оценка качества полученных микроструктур методом сканирующей электронной микроскопии. |
| Gov't Doc #: | № ГР 20143501 |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7945 |
| Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2015 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| № ГР 20143501 (14-3056)_Рук_НИР_Тимошков.pdf Restricted Access | 1.4 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.