| Title: | Метод экспресс – диагностики стабильности работы СВЧ плазмотрона в диапазоне давлений газовой среды |
| Authors: | Яхимович, Д. А. |
| Keywords: | материалы конференций;СВЧ плазмотроны;давление;газовая среда |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Яхимович, Д. А. Метод экспресс – диагностики стабильности работы СВЧ плазмотрона в диапазоне давлений газовой среды / Д. А. Яхимович // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сборник материалов 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Боднарь И. В. [и др.]. – Минск, 2013. – С. 8. |
| Abstract: | Исследование стабильности СВЧ разряда при различных режимах плазмообразования связано с необходимостью
обеспечения воспроизводимости и контроля характера плазменного воздействия на поверхность материала от цикла к
циклу обработки. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9526 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013)
|
