| Title: | Особенности селективного травления кремния в плазме двухчастотного разряда |
| Authors: | Лушакова, М. С. |
| Keywords: | материалы конференций;селективное травление кремния;двухчастотные разряды |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лушакова, М. С. Особенности селективного травления кремния в плазме двухчастотного разряда / М. С. Лушакова // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сборник материалов 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Боднарь И. В. [и др.]. – Минск, 2013. – С. 6. |
| Abstract: | Представлены результаты технологических испытаний разработанного и изготовленного разрядного устройства,
предназначенного для плазменного травления материалов, используемых в технологии микроэлектроники. Особенностью
организации процесса обработки является управляемое воздействие на поверхность материала химически активными
частицами, создаваемыми в условиях комбинированного (СВЧ и НЧ поля) разряда. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9529 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013)
|
