Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9529
Title: Особенности селективного травления кремния в плазме двухчастотного разряда
Authors: Лушакова, М. С.
Keywords: материалы конференций
селективное травление кремния
двухчастотный разряд
Issue Date: May-2013
Publisher: БГУИР
Citation: Лушакова, М. С. Особенности селективного травления кремния в плазме двухчастотного разряда / М. С. Лушакова // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сб. материалов 49-ой науч. конф. аспирантов, магистрантов и студентов учреждения образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» (Минск, 6 - 10 мая 2013 года). - Минск : БГУИР, 2013. – С. 6.
Abstract: Представлены результаты технологических испытаний разработанного и изготовленного разрядного устройства, предназначенного для плазменного травления материалов, используемых в технологии микроэлектроники. Особенностью организации процесса обработки является управляемое воздействие на поверхность материала химически активными частицами, создаваемыми в условиях комбинированного (СВЧ и НЧ поля) разряда.
URI: http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9529
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9529
Appears in Collections:Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: материалы 49-й научной конференции

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Особенности селективного травления кремния.PDF493,51 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.