Репозиторий БГУИР: Request a document copy

Request a document copy: Разработка и исследование плазменных источников электронов для инициирования и поддержания разряда ионных источников, разработка процессов синтеза функциональных тонкопленочных покрытий прямым осаждением из высокоэнергетичных ионных потоков : отчет о НИР (заключ.)