Репозиторий БГУИР: Request a document copy

Request a document copy: Разработать конструкции, изготовить и исследовать микроэлектромеханические резонаторы и оптические волноводы на основе КНИ-структур для интегральных микроэлектронных устройств : отчет о НИР (заключ.)