Репозиторий БГУИР: Request a document copy

Request a document copy: Разработать технологию формирования наноструктурированного оксида титана для изготовления на его основе антиотражающих покрытий и планарных световодов оптических межсоединений на кремниевых чипах : отчет о НИР (заключ.)