Репозиторий БГУИР: Request a document copy

Request a document copy: Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.)