Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27760
Title: Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.)
Authors: Хмыль, А. А.
Кушнер, Л. К.
Кузьмар, И. И.
Богуш, Н. В.
Бранцевич, В. К.
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. А. Хмыль ; отв. исполнитель Л. К. Кушнер.– Минск, 2014. – 45 с. - № ГР 20113907
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27760
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20113907 (11-3065)_Рук_НИР_Хмыль.pdf7,09 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.