Browsing by Subject атомно-слоевое осаждение
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2025 | Технология атомно-слоевого осаждения для создания наноструктур | Герасимчук, С. Н.; Афанасьев, А. А.; Сухоцкий, М. С. |
| 2022 | Ультратонкий электронно-блокирующий оксид алюминия для ИК светодиода на коллоидных квантовых точках PbS | Туровец, У. Е.; Позняк, А. А.; Голосов, Д. А.; Тумилович, А. А.; Плиговка, А. Н. |
| 2026 | Формирование гладких пленок оксида алюминия методом плазма-стимулированного атомно-слоевого осаждения | Кукуть, Ю. М.; Гайдукевич, С. А. |
