https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64229| Title: | Формирование гладких пленок оксида алюминия методом плазма-стимулированного атомно-слоевого осаждения |
| Authors: | Кукуть, Ю. М. Гайдукевич, С. А. |
| Keywords: | материалы конференций;гладкие пленки;оксид алюминия;атомно-слоевое осаждение;нанотехнологии;механизмы осаждения |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Кукуть, Ю. М. Формирование гладких пленок оксида алюминия методом плазма-стимулированного атомно-слоевого осаждения / Ю. М. Кукуть, С. А. Гайдукевич // Радиотехника и электроника : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 15–16 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2026. – С. 199–200. |
| Abstract: | Изучено влияние режимов плазменной активации на формирование пленок оксида алюминия. Увеличение длительности воздействия плазмы приводит к островковому росту пленки. Отсутствие островкового роста показал процесс с плазменным воздействием длительность 4 секунды и подаваемой мощностью ВЧ-генератора равной 150 Вт. При данном режиме пленка имеет значение неравномерности по толщине на пластине Ø100 мм равное 0,764% и среднеквадратичную шероховатость поверхности 0,274 нм. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64229 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kukut'_Formirovanie.pdf | 798.95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.