Browsing by Subject геттерирование
Showing results 1 to 2 of 2
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2009 | Влияние лазерного геттерирования на параметры биполярных интегральных микросхем | Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Понарядов, В. В.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
| 2007 | Установка лазерного геттерирования кремниевых пластин | Вечер, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |