Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31134
Title: Установка лазерного геттерирования кремниевых пластин
Other Titles: Laser gettering unit for silicon wafers
Authors: Вечер, Д. В.
Пилипенко, В. А.
Горушко, В. А.
Сякерский, В. С.
Петлицкая, Т. В.
Keywords: доклады БГУИР;лазер;геттерирование;сканирование;контроль
Issue Date: 2007
Publisher: БГУИР
Citation: Установка лазерного геттерирования кремниевых пластин / Д. В. Вечер и др. // Доклады БГУИР. - 2007. - № 1 (17). - С. 109 - 114.
Abstract: Представлены результаты по разработке установки лазерного геттерирования кремниевых пластин большого диаметра. Приведены данные по выбору источника излучения, разработке системы сканирования и контроля за процессом лазерной обработки, а также обоснованию режима лазерного воздействия с целью геттерирования точечных дефектов и загрязняющих примесей.The results are offered on the design development of the laser gettering unit for the large diameter wafers. The data are provided on choice selection of the radiation source, development of the scan and control system for the laser treatment processing, as well as substantiation of the laser effect mode for the purpose of the point defects and impurities gettering.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31134
Appears in Collections:№1 (17)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Vecher_Laser.pdf693.81 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.