Browsing by Subject глубокий субмикрон
Showing results 1 to 2 of 2
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2013 | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспони-рованных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) | Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А. |
| 2013 | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспонированных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) | Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А. |
