Browsing by Subject индуктивно-связанная плазма
Showing results 1 to 5 of 5
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2023 | Влияние внешнего магнитного поля в реакторе осаждения алмазоподобных углеродных покрытий на генерацию индуктивносвязанной плазмы | Товт, П. Д.; Леонович, Н. В.; Котов, Д. А. |
| 2022 | Использование лазерной интерферометрии для определения времени окончания плазмохимического травления слоев p-GaN и AlGaN гетероструктуры p-GaN/AlGaN/GaN с двумерным электронным газом | Юник, А. Д.; Шидловский, А. Г. |
| 2024 | Особенности нанесения пленок SiNx методом ICP CVD в области повышенного давления | Демидович, С. А.; Юник, А. Д. |
| 2026 | Синтез пленок нитрида кремния с улучшенными механическими и химическими свойствами методом ICPCVD | Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н. |
| 2024 | Формирование алмазоподобных углеродных покрытия оптического назначения с использованием индуктивно-связанной плазмы | Товт, П. Д. |
