Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/57833
Title: Формирование алмазоподобных углеродных покрытия оптического назначения с использованием индуктивно-связанной плазмы
Authors: Товт, П. Д.
Keywords: авторефераты диссертаций;наноэлектроника;алмазоподобные углеродные покрытия;индуктивно-связанная плазма
Issue Date: 2024
Publisher: БГУИР
Citation: Товт, П. Д. Формирование алмазоподобных углеродных покрытия оптического назначения с использованием индуктивно-связанной плазмы : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / Товт Павел Дмитриевич ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2024. – 8 с.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/57833
Appears in Collections:1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tovt_Formirovanie.pdf279.11 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.