Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/57833
| Title: | Формирование алмазоподобных углеродных покрытия оптического назначения с использованием индуктивно-связанной плазмы |
| Authors: | Товт, П. Д. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;наноэлектроника;алмазоподобные углеродные покрытия;индуктивно-связанная плазма |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Товт, П. Д. Формирование алмазоподобных углеродных покрытия оптического назначения с использованием индуктивно-связанной плазмы : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / Товт Павел Дмитриевич ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2024. – 8 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/57833 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.