Browsing by Subject оксид гафния
Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
2018 | Влияние отжига на структуру и диэлектрические свойства пленок оксида гафния | Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Вилья, Н.; Грехов, М. М.; Колос, В. В. |
2017 | Формирование пленок оксида гафния методом реактивного магнетронного распыления | Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Вилья, Н. |