Skip navigation

Browsing by Subject плазменные процессы

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 2 of 2
Issue DateTitleAuthor(s)
2026Исследование особенностей групповой плазмохимической обработки кремниевых пластин при непрерывном режиме генерации СВЧ разрядаТихон, О. И.; Лушакова, М. С.
2026Оптимизация магнитной системы источника высокочастотного ёмкостного разряда с наложением магнитного поля для ионного травления и полировки оптических деталей диаметром до 300 ммПотылкин, А. Н.; Завадский, С. М.