Browsing by Subject плазмотроны
Showing results 1 to 7 of 7
Issue Date | Title | Author(s) |
2021 | Анализ конструктивных решений плазменных реакторов используемых при производстве изделий электронной техники | Лях, А. С. |
2023 | Анализ современных СВЧ плазмотронов технологического назначения | Гришанков, И. В. |
2020 | Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа | Мадвейко, С. И.; Тихон, О. И.; Тодин, П. А.; Бордусов, С. В.; Достанко, А. П. |
2023 | Исследование зарядовых состояний в поверхностном слое кремниевой пластины и оксидной пленки после плазмохимической обработки | Жаворонок, И. А.; Тихон, О. И. |
2021 | Исследование распределения СВЧ мощности в плазмотроне резонаторного типа | Сабодаш, О. А. |
2020 | СВЧ плазмотрон атмосферного давления волноводно-резонаторного типа | Страхович, В. И. |
2023 | Современные процессы обработки материалов в плазмотронах комбинированного типа | Гришанков, И. В. |