Skip navigation

Browsing by Subject распыление

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 3 of 3
Issue DateTitleAuthor(s)
2002Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностяхЗавадский, С. М.
2018Низкотемпературная плазма магнетронного разрядаНевлюдов, И. Ш.; Гурин, Д. В.; Гурин, В. Н.; Хрусталев, К. Л.
2019Формирование пленок SiOC ионно-лучевым распылением составной мишени SiO2/25 %CДуксин, М. В.