Skip navigation

Browsing by Subject селективность

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 3 of 3
Issue DateTitleAuthor(s)
2019Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремнияЕмельянов, В. В.; Бордусов, С. В.
2019Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремнияЕмельянов, В. В.
2018Технология плазмохимического травления нитрида кремния при создании изоляции LOCOS для полупроводниковых приборов субмикронных проектных нормЕмельянов, В. В.