Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37296
Title: Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния
Authors: Емельянов, В. В.
Keywords: материалы конференций
плазмохимическое травление
ВЧ генератор
селективность
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Емельянов, В. В. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния / Емельянов В. В. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 293-294.
Abstract: Описаны результаты эксперимента по увеличению селективности нитрида кремния к диоксиду кремния.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37296
Appears in Collections:Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Emelyanov_Selektivnoye.pdf1,03 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.