Browsing by Subject субмикронные структуры
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2025 | Контроль и диагностика твердотельных субмикронных структур. Лабораторный практикум : пособие | Кузьмар, И. И.; Завадский, С. М. |
| 2018 | Технологии субмикронных структур микроэлектроники | Достанко, А. П.; Бордусов, С. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Купо, А. Н.; Ланин, В. Л.; Лушакова, М. С.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Солодуха, В. А.; Телеш, Е. В. |
| 2022 | Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния | Наливайко, О. Ю. |
