| Title: | Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния |
| Authors: | Наливайко, О. Ю. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;субмикронные структуры;интегральные микросхемы |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Наливайко, О. Ю. Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / О. Ю. Наливайко ; науч. рук. А. С. Турцевич. – Минск : БГУИР, 2022. – 28 с. |
| Abstract: | Целью работы является разработка и исследование комплекса новых
технологических процессов и конструктивно-технологических способов
получения слоёв Si, Si 1-x Ge x , W для субмикронных структур интегральных
микросхем на основе кремния. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48288 |
| Appears in Collections: | 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
|
