Browsing by Subject токи утечки
Showing results 1 to 2 of 2
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2018 | Влияние отжига на структуру и диэлектрические свойства пленок оксида гафния | Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Вилья, Н.; Грехов, М. М.; Колос, В. В. |
| 2018 | Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем | Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Солодуха, В. А. |