Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34334
Title: Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем
Authors: Солодуха, В. А.
Шведов, С. В.
Чигирь, Г. Г.
Петлицкий, А. Н.
Пилипенко, В. А.
Ковальчук, Н. С.
Петлицкая, Т. В.
Филипеня, В. А.
Солодуха, В. А.
Keywords: публикации ученых
материалы конференций
кремниевая пластина
рекомбинационно-активные примеси
токи утечки
Issue Date: 2018
Publisher: Издательский центр «Политехпериодика», Украина
Citation: Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем / В. А. Солодуха [и др.] // Современные информационные и электронные технологии: сборник трудов 19-ой Международной научно-практической конференции (СИЭТ-2018), Одесса, 28 мая - 01 июня 2018 г. - Одесса, 2018. - С. 83 - 84.
Abstract: Предложен доступный, оперативный анализ наличия загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями по измерению величины токов утечки обратносмещенных р-п переходов. Установлены критерии забракования по допустимым уровням загрязнения. Для проведения анализа не требуется дорогостоящее специализированное оборудование (масспектрометры). Анализ эффективен при проведении оперативной аттестации оборудования для проведения высокотемпературных операций.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34334
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solodukha_Operativnyy.pdf269,55 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.