Browsing by Subject rapid thermal treatment
Showing results 1 to 5 of 5
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2021 | Properties of CrSi2 Layers Obtained by Rapid Heat Treatment of Cr Film on Silicon | Kuznetsova, T.; Lapitskaya, V.; Solovjov, J. A.; Chizhik, S.; Pilipenko, V.; Aizikovich, S. |
| 2018 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры мощных полевых МОSFЕТ транзисторов | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
| 2020 | Влияние температуры быстрой термической обработки на электрофизические свойства пленок никеля на кремнии | Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А. |
| 2018 | Режимы быстрой термообработки системы Рt-Si для формирования силицида платины | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
| 2021 | Формирование силицида никеля быстрой термообработкой в режиме теплового баланса | Пилипенко, В. А.; Соловьев, Я. А.; Гайдук, П. И. |
