Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | Electromagnetic MEMS motors for display technologies | Timoshkov, I. V.; Kurmashev, V. I.; Grapov, D. V.; Vetcher, A. K.; Govor, G. A.; Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Грапов, Д. В. |
2019 | Модульный подход к изучению дисплеев для электромобилей | Шпак, И. И.; Курмашев, В. И. |
2015 | Разработка LIGA-подобной технологии формирования вертикальных металлических контактов к массивам углеродных нанотрубок : отчет о НИР (заключ.) | Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю. |
2014 | Разработка научных основ и технологии формирования полимерных и металлических микроструктур с высоким аспектным соотношением для создания элементов и сенсоров микроэлектромеханических систем : отчет о НИР (заключ.) | Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю. |
2015 | Разработка технологии прецизионных трехмерных структур на основе градиентной литографии сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и электрохимического осаждения для технологий массового производства микроэлементов : отчет о НИР (заключ.) | Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю. |
2011 | Создание конструктивно-технологических основ элементной базы 3d механических устройств микро- и наносистем : отчет о НИР (заключ.) | Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А. |
2014 | Технологии формирования наноразмерных структур для применения в дисплейных и оптических устройствах | Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю. |
2014 | Устройство для определения местоположения подвижного микрообъекта | Тимошков, Ю. В.; Тимошков, В. Ю.; Сакова, А. А.; Курмашев, В. И. |