Browsing by Author Пархоменко, И. Н.
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2019 | Методика программной идентификации параметров наблюдаемого объекта | Пархоменко, И. Н.; Господ, А. В. |
| 2026 | Синтез пленок нитрида кремния с улучшенными механическими и химическими свойствами методом ICPCVD | Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н. |
| 2024 | Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазме | Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н. |
