Skip navigation

Browsing by Subject плазменное травление

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 3 of 3
Issue DateTitleAuthor(s)
2023Анализ особенностей оборудования для плазменной обработки поверхности нитрида кремнияКабак, Т. В.
2022Анализ технологии плазменной обработки полупроводниковых структурЖаворонок, И. А.; Тихон, О. И.
2023Современные процессы обработки материалов в плазмотронах комбинированного типаГришанков, И. В.