Browsing by Subject реактивное распыление
Showing results 1 to 5 of 5
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2023 | Влияние легирования титаном на диэлектрические характеристики пленок оксида циркония | Доан, Т. Х. |
| 2023 | Влияние расстояния мишень – подложка на равномерность толщины пленок тантала, наносимых цилиндрической магнетронной распылительной системой | Чан, Д. Н. Х.; Доан, Х. Т. |
| 2023 | Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дж.; Кананович, Н. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н. |
| 2022 | Высоковакуумное реактивное магнетронное нанесение пленок оксида алюминия | Доан, Х. Т. |
| 2023 | Распределение электрофизических свойств пленок оксида циркония при реактивном магнетронном нанесении на вращающуюся подложку | Нгуен, В. Т. А.; Доан, Т. Х.; Нестерчик, Р. И. |
