Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11099
Title: Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Authors: Достанко, А. П.
Аваков, С. М.
Агеев, О. А.
Батура, М. П.
Бордусов, С. В.
Джуплин, В. Н.
Завадский, С. М.
Клим, О. В.
Ланин, В. Л.
Мадвейко, С. И.
Голосов, Д. А.
Мельников, С. Н.
Петухов, И. Б.
Ретюхин, Г. Е.
Русецкий, А. М.
Титко, Д. С.
Томаль, В. С
Трапашко, Г. А.
Чередниченко, С. Б
Школык, Д. И.
Keywords: публикации ученых
Issue Date: 2016
Publisher: Беларуская навука; Беларусь
Citation: Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники: монография / А. П. Достанко [и др.]. – Минск : Беларуская навука, 2016. – 251 с.
Abstract: Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11099
ISBN: 978-985-08-1993-2
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
120920.docx14,6 kBMicrosoft Word XMLView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.