Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11126
Title: Влияние температуры отжига на сегнетоэлектрические свойства легированного ниобием танталата стронция-висмута
Other Titles: Influence of the annealing temperature on the ferroelectric properties of niobium-doped strontium–bismuth tantalate
Authors: Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Колос, В. В.
Турцевич, А. С.
Окоджи, Д. Э.
Keywords: публикации ученых
тонкие пленки
ВЧ магнетронное распыление
сегнетоэлектрические свойства
thin films
magnetron sputtering
Issue Date: 2016
Publisher: Издательство МАИК "Наука/ Интерпериодика"; Россия
Citation: Голосов, Д. А. Влияние температуры отжига на сегнетоэлектрические свойства легированного ниобием танталата стронция-висмута / Д. А. Голосов и другие // Микроэлектроника. - 2016. - Т. 45, № 1. - С. 13–20.
Abstract: Исследованы характеристики сегнетоэлектрических тонких пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута (SBTN), нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления на Pt/TiO2/SiO2/Si подложки. Для формирования структуры сегнетоэлектрика нанесенные пленки подвергались последующему отжигу при температуре 700–800°C в атмосфере O2. Результаты рентгеновской дифракции показали, что непосредственно после нанесения пленки имеют аморфную структуру. В результате отжига при температуре 700–800°C формируется структура Ауривиллиуса. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, остаточной поляризации и коэрцитивной силы пленок SBTN от режимов последующего отжига. При температуре отжига 800°C получены пленки с остаточной поляризацией 2Pr= 9.2 мкКл/см2, коэрцитивной силой 2Ec= 157 кВ/см и током утечки 10-6А/см2. Диэлектрическая проницаемость и тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 1.0 МГц составляли соответственно ε = 152 и tgδ = 0.06. Полученные сегнетоэлектрические характеристики позволяют использовать пленки SBTN в конденсаторных модулях высокоплотной FeRAM.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11126
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
12096.docx15.28 kBMicrosoft Word XMLView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.