https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11126
Название: | Влияние температуры отжига на сегнетоэлектрические свойства легированного ниобием танталата стронция-висмута |
Другие названия: | Influence of the annealing temperature on the ferroelectric properties of niobium-doped strontium–bismuth tantalate |
Авторы: | Голосов, Д. А. Завадский, С. М. Колос, В. В. Турцевич, А. С. Окоджи, Д. Э. |
Ключевые слова: | публикации ученых;тонкие пленки;ВЧ магнетронное распыление;сегнетоэлектрические свойства;thin films;magnetron sputtering |
Дата публикации: | 2016 |
Издательство: | Издательство МАИК "Наука/ Интерпериодика" |
Описание: | Голосов, Д. А. Влияние температуры отжига на сегнетоэлектрические свойства легированного ниобием танталата стронция-висмута / Д. А. Голосов и другие // Микроэлектроника. - 2016. - Т. 45, № 1. - С. 13–20. |
Аннотация: | Исследованы характеристики сегнетоэлектрических тонких пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута (SBTN), нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления на Pt/TiO2/SiO2/Si подложки. Для формирования структуры сегнетоэлектрика нанесенные пленки подвергались последующему отжигу при температуре 700–800°C в атмосфере O2. Результаты рентгеновской дифракции показали, что непосредственно после нанесения пленки имеют аморфную структуру. В результате отжига при температуре 700–800°C формируется структура Ауривиллиуса. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, остаточной поляризации и коэрцитивной силы пленок SBTN от режимов последующего отжига. При температуре отжига 800°C получены пленки с остаточной поляризацией 2Pr= 9.2 мкКл/см2, коэрцитивной силой 2Ec= 157 кВ/см и током утечки 10-6А/см2. Диэлектрическая проницаемость и тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 1.0 МГц составляли соответственно ε = 152 и tgδ = 0.06. Полученные сегнетоэлектрические характеристики позволяют использовать пленки SBTN в конденсаторных модулях высокоплотной FeRAM. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11126 |
Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
12096.docx | 15.28 kB | Microsoft Word XML | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.