https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11145| Title: | Газовый сенсор с низким энергопотреблением на наноструктурированной диэлектрической мембране |
| Authors: | Горох, Г. Г. Захлебаева, А. И. Ткач, А. Н. Таратын, И. А. Хатько, В. В. |
| Keywords: | публикации ученых;пористый анодный оксид алюминия;электрохимическое анодирование;наноструктурированные мембраны;высокочувствительный газовый сенсор;микромощный сенсор;porous anodic alumina;electrochemical anodic oxidation;nanostructured membranes;highly sensitive gas sensor;low power gas sensor |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | БНТУ |
| Citation: | Газовый сенсор с низким энергопотреблением на наноструктурированной диэлектрической мембране / Г. Г. Горох [и др.] // Приборостроение–2016 : материалы 9-ой Международной конференции, Минск 23–25 ноября, 2016 г. – Минск : БНТУ, 2016. – С. 294–295. |
| Abstract: | Исследован газовый сенсор с низким энергопотреблением на двухслойной диэлектрической мембране с тонким слоем анодного оксида алюминия. Представлена технология изготовления газового сенсора на наноструктурированной мембране SixNy/Al2O3. Исследованы отклики сенсора к 1 ppm CO при различных температурах нагрева чувствительного слоя. Определен оптимальный режим работы сенсора. |
| Alternative abstract: | Low power gas sensor on the two-layer dielectric membrane with a thin layer of anodic aluminum oxide was developed. The technique of forming of nanostructured membrane SixNy/Al2O3. was represented. The sensor response to the 1 ppm CO at different temperatures heat of sensitive layer was investigated. The optimal operating conditions of sensor were defined. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11145 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.