Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11235
Title: Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния
Authors: Лазарук, С. К.
Лешок, А. А.
Высоцкий, В. Б.
Борисенко, В. Е.
Keywords: публикации ученых;интегральные оптические межсоединения;композиционная пленка алюминия;контакт Шоттки
Issue Date: 2016
Publisher: издательство Политехнического университета, Санкт-Петербург
Citation: Лазарук, С. К. Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния / С. К. Лазарук и другие // Аморфные и микрокристаллические полупроводники: Сборник трудов Х Международной конференции ( Санкт-Петербург, 4 -7 июля 2016 г. ). - Санкт-Петербург, 2016. - С. 207-208.
Abstract: Разработана и изготовлена экспериментальная структура интегральных оптических межсоединений на кремниевом кристалле, а также исследованы ее характеристики.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11235
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
konstit.pdf191.95 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.