https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11235| Title: | Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния |
| Authors: | Лазарук, С. К. Лешок, А. А. Высоцкий, В. Б. Борисенко, В. Е. |
| Keywords: | публикации ученых;интегральные оптические межсоединения;композиционная пленка алюминия;контакт Шоттки |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | издательство Политехнического университета |
| Citation: | Лазарук, С. К. Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния / С. К. Лазарук [и др.] // Аморфные и микрокристаллические полупроводники : cборник трудов Х Международной конференции, Санкт-Петербург, 4-7 июля 2016 г. – Санкт-Петербург, 2016. – С. 207–208. |
| Abstract: | Разработана и изготовлена экспериментальная структура интегральных оптических межсоединений на кремниевом кристалле, а также исследованы ее характеристики. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11235 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| konstit.pdf | 191.95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.