https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12308| Title: | Исследование чувствительности консольных элементов на основе анодного оксида алюминия |
| Authors: | Биран, С. А. Короткевич, Д. А. Короткевич, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;МЭМС;наноструктурированный материал |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Биран, С. А. Исследование чувствительности консольных элементов на основе анодного оксида алюминия / С. А. Биран, Д. А. Короткевич, А. В. Короткевич // Медэлектроника – 2014. Средства медицинской электроники и новые медицинские технологии : сборник научных статей VIII Международная научно-техническая конференция (Минск, 10 – 11 декабря 2014 г.). – Минск : БГУИР, 2014. – С. 136-137 |
| Abstract: | Использование наноструктурированных материалов является одним из важнейших направлений развития МЭМС/НЭМС. В этой связи большой интерес представляют нанопористые материалы, в частности анодный оксид алюминия. В данной статье приведены результаты исследования влияния прогиба консольных элементов (мембран) различной толщины и конструкции на основе анодного оксида алюминия к приложенным механическим нагрузкам. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12308 |
| Appears in Collections: | Медэлектроника - 2014 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Biran_Issledovaniye.PDF | 595.2 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.