https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12606| Title: | Применение метода самораспространяющегося высокотемпературного синтеза для получения пористых вакуумных вставок планшайб оборудования электронного машиностроения |
| Other Titles: | Application of the method of self-extending high-temperature synthesis for receiving porous vacuum inserts of faceplates of electronic mechanical engineering equipment |
| Authors: | Тумилович, М. В. Пилиневич, Л. П. Тарайкович, А. М. Толстик, В. Е. Шеко, Г. А. |
| Keywords: | доклады БГУИР;порошковая металлургия;оксинитрид титана;powder metallurgy;oxynitride of the titan |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Применение метода самораспространяющегося высокотемпературного синтеза для получения пористых вакуумных вставок планшайб оборудования электронного машиностроения / М. В. Тумилович [и др.] // Доклады БГУИР. - 2017. - № 2 (104). - С. 5 - 10. |
| Abstract: | Приведены результаты исследования процесса получения методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза пористых вакуумных вставок планшайб, используемых при производстве полупроводниковых кремниевых пластин на предприятиях электронного машиностроения. |
| Alternative abstract: | There are given the results of research the process of receiving by method of self-extending high- temperature synthesis of porous vacuum inserts of the faceplates used by production of semiconductor silicon plates at the enterprises of electronic mechanical engineering. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12606 |
| Appears in Collections: | №2 (104) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tumilovich_Primeneniye.PDF | 1.05 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.