Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12606
Title: Применение метода самораспространяющегося высокотемпературного синтеза для получения пористых вакуумных вставок планшайб оборудования электронного машиностроения
Other Titles: Application of the method of self-extending high-temperature synthesis for receiving porous vacuum inserts of faceplates of electronic mechanical engineering equipment
Authors: Тумилович, М. В.
Пилиневич, Л. П.
Тарайкович, А. М.
Толстик, В. Е.
Шеко, Г. А.
Keywords: доклады БГУИР;порошковая металлургия;оксинитрид титана;powder metallurgy;oxynitride of the titan
Issue Date: 2017
Publisher: БГУИР
Citation: Применение метода самораспространяющегося высокотемпературного синтеза для получения пористых вакуумных вставок планшайб оборудования электронного машиностроения / М. В. Тумилович [и др.] // Доклады БГУИР. - 2017. - № 2 (104). - С. 5 - 10.
Abstract: Приведены результаты исследования процесса получения методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза пористых вакуумных вставок планшайб, используемых при производстве полупроводниковых кремниевых пластин на предприятиях электронного машиностроения.
Alternative abstract: There are given the results of research the process of receiving by method of self-extending high- temperature synthesis of porous vacuum inserts of the faceplates used by production of semiconductor silicon plates at the enterprises of electronic mechanical engineering.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12606
Appears in Collections:№2 (104)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tumilovich_Primeneniye.PDF1.05 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.