Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12606
Title: Применение метода самораспространяющегося высокотемпературного синтеза для получения пористых вакуумных вставок планшайб оборудования электронного машиностроения
Other Titles: Application of the method of self-extending high-temperature synthesis for receiving porous vacuum inserts of faceplates of electronic mechanical engineering equipment
Authors: Тумилович, М. В.
Пилиневич, Л. П.
Тарайкович, А. М.
Толстик, В. Е.
Шеко, Г. А.
Keywords: доклады БГУИР;порошковая металлургия;оксинитрид титана;powder metallurgy;oxynitride of the titan
Issue Date: 2017
Publisher: БГУИР
Citation: Применение метода самораспространяющегося высокотемпературного синтеза для получения пористых вакуумных вставок планшайб оборудования электронного машиностроения / М. В. Тумилович [и др.] // Доклады БГУИР. - 2017. - № 2 (104). - С. 5 - 10.
Abstract: Приведены результаты исследования процесса получения методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза пористых вакуумных вставок планшайб, используемых при производстве полупроводниковых кремниевых пластин на предприятиях электронного машиностроения. There are given the results of research the process of receiving by method of self-extending high- temperature synthesis of porous vacuum inserts of the faceplates used by production of semiconductor silicon plates at the enterprises of electronic mechanical engineering.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12606
Appears in Collections:№2 (104)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tumilovich_Primeneniye.PDF1.05 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.